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國外潔凈室標(biāo)準(zhǔn)和級(jí)別概況
1961年誕生了世界上最早的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)即美國空軍技術(shù)條令203，并把編制聯(lián)邦政府標(biāo)準(zhǔn)的任務(wù)交給了原子能委員會(huì)的出版機(jī)構(gòu)。1963年底頒發(fā)了潔凈室第一個(gè)軍用部分的聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)即FS209(按:美國國家標(biāo)準(zhǔn)為ANSI)。從此，美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209即成為國際上最通行、最著名的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。如果說當(dāng)時(shí)通過對(duì)各類生產(chǎn)環(huán)境潔凈度進(jìn)行大量調(diào)研后得到的認(rèn)識(shí)--潔凈室內(nèi)塵粒分布規(guī)律基本上接近對(duì)數(shù)正態(tài)分布，從而提出了這一分布的平行線關(guān)系，是標(biāo)準(zhǔn)203的重要基石，那么美國的威利斯·華德弗爾德提出的關(guān)于潔凈室的層流概念(這不是流體力學(xué)上的同一概念)則是標(biāo)準(zhǔn)209的理論基石，也是后來各種潔凈室標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)。1966年頒布了修訂后的209A，1973年又頒布了修訂的209B，并于1976年再
次頒行了209B修正案1。
在這一段時(shí)期里，許多國家也相繼制定了潔凈室的標(biāo)準(zhǔn)，其內(nèi)容特別是潔凈度
分級(jí)基本參照美國標(biāo)準(zhǔn)。
但是，由于濫用聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209B，加之原標(biāo)準(zhǔn)中一些概念不清，以及對(duì)所謂10級(jí)、1級(jí)潔凈度的需要，促使美國修改209B。這一工作首先由IES(美國環(huán)境科學(xué)協(xié)會(huì))發(fā)起，經(jīng)GSA(美國總務(wù)管理局)認(rèn)可和授權(quán)，成立了RP-50委員會(huì)，包括來自政府、微電子公司、儀器制造廠的人員，潔凈室顧問、潔凈室用戶及潔凈室測試人員，終于在1987年10月27日頒發(fā)了FS209C。209C又于1988年6月15日被新的209D所取代，209D又于1992年3月11日被209E取代，見
表1-2。
1999年，國際標(biāo)準(zhǔn)化組織制定的國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644一1《空氣潔凈度等級(jí)劃
分》頒布。
ISO標(biāo)準(zhǔn)的潔凈度等級(jí)和209E的潔凈度等級(jí)差異如下。