
潔凈室淋水式處理
淋水式是一種傳統(tǒng)的經(jīng)典方法,利用水洗方法將可溶于水的廢氣及粉塵水洗清除。部件有噴嘴、水泵、加堿設(shè)備及pH值分析器、進出口壓力敏感元件、流量敏感元件、控制監(jiān)視裝置等。圖9-46是某半導體工業(yè)常用的區(qū)域性洗滌塔。表9-19是區(qū)域性洗滌塔的優(yōu)缺點比較。

最大不平整度:1/300板面長度。
表面電阻值:10-5~10-70。
1硅片傳輸。受投資所限,采用手動系統(tǒng),在微環(huán)境下手工傳送、打開片盒和裝取硅片。
5微環(huán)境裝置形式。在吊頂安裝型或地板固定型或兩者混合型中選用,見圖9-44和圖9-45。
