
空調(diào)凈化系統(tǒng)
一、電子工業(yè)潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)主要形式
電子工業(yè)潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)主要有以下幾種形式:
1垂直單向流集中送風(fēng)方式;
風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元送風(fēng)方式;
隧道送風(fēng)方式;
非單向流送風(fēng)加層流罩送風(fēng)方式;
5
微環(huán)境方式。
以上5種送風(fēng)方式比較見(jiàn)表9-11。

二、垂直單向流集中送風(fēng)方式
集中送風(fēng)方式是一種經(jīng)典的方式。集中送風(fēng)方式就是將多臺(tái)空調(diào)凈化機(jī)組集中設(shè)置在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi)??照{(diào)機(jī)房可位于潔凈室的側(cè)面,也可位于潔凈室的頂層。垂直單向流集中送風(fēng)方式可適用于大面積和潔凈度級(jí)別高的潔凈室。
圖9-5~圖9-7是高級(jí)別電子工業(yè)潔凈室應(yīng)用垂直單向流集中送風(fēng)的幾種形式。
