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潔凈室的建筑設計
一、特點
電子工業(yè)潔凈室的特點一是大，二是多變。幾千平方米、上萬平方米的面積并不少見。電子工業(yè)的技術更新快，工藝變了，平面布局就要跟著變，因此平面上不宜有固定的分隔，特別是很小的分隔。具體說，有以下一些獨特之處應加注意。
(1)平面由工藝決定，電子工業(yè)潔凈廠房的工藝布局應適應電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求。
(2)主體結構宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內墻承重體系
(3)大型電子工業(yè)潔凈廠房常采用上技術夾層、下技術夾層這種“夾心”式多層構造。
(4)應考慮大型生產(chǎn)工藝設備的安裝、維修要求，設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口
(5)電子工業(yè)潔凈室按二級耐火等級設計。
(6)特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與潔凈室(區(qū))分開，該墻耐火極限不低于1h。有毒的硅烷或其混合物氣瓶儲存區(qū)至少三面是敞開的，氣瓶與周圍構筑物或圍欄之間的距離應大于3m，儲存區(qū)設置的雨篷應不低于3.5m。
(7)電子工業(yè)潔凈室的裝飾材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質的材料8)電子工業(yè)潔凈室允許設空氣吹淋室，這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按最大班人數(shù)為30人一間設計，當工作人員超過5人時，應設旁通門，當人數(shù)太多或為了縮短通過時間，也可設隧道式吹淋室。
(9)對于高級別潔凈室，為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性，照明燈具宜采用所謂淚珠形燈具，見圖9-1。

 (10)電子工業(yè)潔凈室常根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置防靜電環(huán)境，以便抑制靜電的產(chǎn)生，將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全地排除。
為此，在設計時首先要明確控制的靜電電位(絕對值)，該值≤100V為一級，≤200V為二級，≤1000V為三級(據(jù)《電子工廠潔凈廠房設計規(guī)范》征求意見稿)，其適用場所分別是半導體器件、集成電路和具有一級靜電敏感的電子產(chǎn)品制造和測試場所;對靜電敏感的精密電子儀器和器件制造和測試場所;除去一、二級以外的電子器件和整機的組裝調試場所。