
分子態(tài)污染物
分子態(tài)污染物(AMC)是半導(dǎo)體生產(chǎn)用潔凈室對環(huán)境要求的一個新指標(biāo),20世紀(jì)90年代中期才提出。特別是生產(chǎn)集成電路的硅片發(fā)展到8英寸(1英寸=0.0254m)及其以上時,對污染物的控制已由微粒發(fā)展到分子態(tài)污染物,此時電路上1/2線寬大約在0.1pm以下。分子態(tài)污染物粒徑為高效和超高效過濾器所過濾微粒的千分之一到萬分之一。
據(jù)我國臺灣文獻(xiàn)估計,在潔凈室中AMC來源如下:新風(fēng)5%~10%;
人員30%~40%;
生產(chǎn)中揮發(fā)25%~30%;
生產(chǎn)設(shè)備20%~30%。
可見內(nèi)部污染高于新風(fēng)。
室內(nèi)污染來源有:化學(xué)原料、溶劑的揮發(fā),室內(nèi)的氣體釋放,人員本身及其疏忽造成的意外漏溢。
例如:氫氟酸與含氧化硼的過濾器所用濾材反應(yīng)釋出硼化物,蝕刻劑及清洗區(qū)的酸蒸發(fā),建筑裝飾材料、簾幕、臺面材質(zhì)、接縫密封膠、硅晶片儲存盒、PVC手套等塑膠材質(zhì)都會散發(fā)出分子態(tài)污染物,主要有氨、胺化物、酸、醇類及高揮發(fā)性物質(zhì)。分子態(tài)污染對半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)的影響主要表現(xiàn)在:其中的酸會腐蝕設(shè)備和硅片,使蝕刻速度變化;其中的堿會使顯影不清,光學(xué)儀器及硅片表面霧化;其中的凝聚性有機(jī)物會使黏著力變低,接觸電阻增高,并影響清潔效果;其中的摻雜物會改變電壓,使電阻系數(shù)偏移,造成電氣特性改變。
據(jù)半導(dǎo)設(shè)備與材料國際組織提出的標(biāo)準(zhǔn)潔凈環(huán)境中氣態(tài)分子級化學(xué)污染物的分級(SEMIF21一95)如表5-21所列。