
浮游菌和沉降菌濃度
浮游菌濃度是指經(jīng)過對已采樣的培養(yǎng)皿或培養(yǎng)基條培養(yǎng)后得出的菌落數(shù),代表單位體積空氣中的活菌數(shù),以個/m3表示。沒有采到的或者沒有存活的細(xì)菌并未計人。
每一個菌落代表一個活細(xì)菌繁殖成的一個菌團(tuán),用英文縮寫符號表示就是lcfu。
沉降菌濃度是指對經(jīng)過一定時間(如30min)沉積到培養(yǎng)皿上的細(xì)菌培養(yǎng)后生成的菌落數(shù),一個菌落就是一個細(xì)菌繁殖成的菌團(tuán),即1cfu。
菌濃參數(shù)主要在生物潔凈室使用。但細(xì)菌不僅對生物潔凈室而且也對半導(dǎo)體一類工業(yè)潔凈室有重要影響。
不同的生物潔凈室要求的菌濃標(biāo)準(zhǔn)是不同的。過去國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)多用浮游菌濃度來表達(dá)。
1968年,兩位美國學(xué)者(Blwer和Wallace)觀察到空氣中含菌量為20~50個/ft3(707~1767個/m3)時,污染微粒的總病菌數(shù)中金黃色葡萄球菌(具有代表性的致病菌)比例可達(dá)到5%,此時極易引起敗血癥,美國傳染病中心的研究也證實(shí)了上述結(jié)果。
世界衛(wèi)生組織(WHO)推薦的醫(yī)院浮游菌濃度標(biāo)準(zhǔn)見表5-18。

這里要特別指出的是,浮游菌濃度和沉降菌濃度一定不要互相換算,雖然理論上可以這樣做,但實(shí)際上會帶來一些麻煩,這在作者的<<空氣潔凈技術(shù)原理>>、<<醫(yī)院潔凈手術(shù)室建設(shè)實(shí)施指南>>中都有論述。合適的做法是用各自的標(biāo)準(zhǔn)來衡量。有害的微生物不僅對人有害,而且對工業(yè)制品也有很大的影響。對電子電氣儀器和制品,在線路板底板的樹脂與導(dǎo)體表面生長的霉菌菌絲會降低絕緣性能。有害微生物還會腐蝕聚氯乙烯(PVC)的包覆電線、發(fā)電機(jī)線圈、電容器等,會使環(huán)氧樹脂、聚氨酯樹脂、聚酰胺樹脂老化。在光學(xué)鏡頭上生長的灰綠曲霉菌會使玻璃受到腐蝕。細(xì)菌、霉菌能在化妝品中繁殖,對皮膚不利。黏結(jié)劑里也能生長霉菌,大大影響?zhàn)そY(jié)性能。
如果以集成電路為例,微生物的影響明顯表現(xiàn)在以下幾方面。
1.異物影響
當(dāng)微生物以幾到數(shù)百微米存在于硅片表面時,影響如圖5-11所示。在n型片上有一層SiO2膜,通過帶有一定圖形的光刻膠膜,使用光刻板把SiO2膜一部分用干式腐蝕法腐蝕掉。在干式腐蝕工藝之前,如微生物像圖5-11(a)所示那樣,在SiO2膜表面某部分繁殖起來,則這一部分就起到了干式腐蝕時的掩膜版作用,留下其下的SiO2[見圖5-11(b)]。下道工序在掩膜版圖形區(qū)內(nèi)用離子注人法進(jìn)行硼擴(kuò)散時,如圖5-11(c)所示,在原有微生物處就不能形成p型區(qū),還會使接觸式光刻機(jī)接觸不良,這就是異物導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量不良的原因。