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設(shè)計要求

• 布局規(guī)劃
  • 區(qū)域劃分：依據(jù)工藝流程精準(zhǔn)劃分區(qū)域，按不同工序的潔凈度需求劃分，如芯片光刻環(huán)節(jié)設(shè)為 ISO 1-ISO 3 級的超高潔凈區(qū)，普通電子產(chǎn)品組裝區(qū)域 ISO 7-ISO 8 級即可。
  • 人流物流通道：人員和物料的流動路線嚴(yán)格分開，設(shè)置單向通道，防止交叉污染。人員從更衣室、風(fēng)淋室進(jìn)入車間，物料則通過專門的傳遞窗、貨淋室清潔后進(jìn)入。
  • 預(yù)留空地：考慮企業(yè)未來擴(kuò)張需求，預(yù)留一定比例的空地或采用模塊化設(shè)計理念，如選用可靈活拆卸、重組的輕質(zhì)隔墻。
  • 公用設(shè)施：合理布局空調(diào)機(jī)房、配電室、水處理間等公用設(shè)施區(qū)域，確保其靠近使用區(qū)域，同時預(yù)留擴(kuò)容空間。
• 潔凈度控制
  • 過濾器選擇：根據(jù)車間各區(qū)域的潔凈等級，超高潔凈區(qū)采用 ULPA 超高效空氣過濾器，一般潔凈區(qū)選用 HEPA 高效空氣過濾器。
  • 氣流組織：單向流適用于對潔凈度要求極高的區(qū)域，非單向流則用于相對潔凈度要求低些的區(qū)域，通過合理的送回風(fēng)布局，實現(xiàn)空氣的循環(huán)凈化。
  • 通風(fēng)管道：選用耐腐蝕、密封性強(qiáng)的材質(zhì)，如不銹鋼管或優(yōu)質(zhì)鍍鋅鋼板。管道走向避免死角，合理設(shè)計管道坡度，便于排除冷凝水。
  • 圍護(hù)結(jié)構(gòu)：墻面多采用彩鋼板，拼接處使用高質(zhì)量密封膠條。地面選用防靜電環(huán)氧樹脂地面或防靜電高架地板，與墻面、設(shè)備基礎(chǔ)的交接處也要密封處理。
• 防靜電設(shè)計
  • 地面材料：采用防靜電環(huán)氧樹脂地面或防靜電高架地板，釋放靜電，防止靜電積聚。
  • 人員防護(hù)：人員工作服、工作鞋應(yīng)具備防靜電功能，如穿著防靜電工作服、工作鞋，佩戴防靜電手環(huán)等。
  • 設(shè)備外殼：設(shè)備外殼、操作工具等都應(yīng)具備防靜電功能，通過接地等措施，將設(shè)備和工具上的靜電導(dǎo)入大地。
• 溫濕度控制
  • 空調(diào)系統(tǒng)：根據(jù)車間面積、空間高度、人員密度以及設(shè)備發(fā)熱量等因素，科學(xué)計算空調(diào)系統(tǒng)的制冷量、制熱量、加濕量和除濕量，選擇具備精準(zhǔn)溫濕度調(diào)節(jié)功能的工業(yè)空調(diào)機(jī)組。
  • 送回風(fēng)方式：合理設(shè)計空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)方式，如下送上回的方式有助于形成穩(wěn)定的氣流組織，使溫濕度分布更加均勻。同時，在空調(diào)管道內(nèi)設(shè)置溫濕度傳感器，實時反饋調(diào)節(jié)信號，實現(xiàn)閉環(huán)控制。

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體制造：半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)需要在極其潔凈的環(huán)境下進(jìn)行，任何微小的顆粒都可能導(dǎo)致電路短路或失效，通常需要 ISO 3 級或更高標(biāo)準(zhǔn)的環(huán)境。
• 醫(yī)療器械生產(chǎn)：特別是植入人體的器械，如心臟起搏器、人工關(guān)節(jié)等的制造，需要高度潔凈的環(huán)境，無塵車間可以為這類產(chǎn)品的生產(chǎn)提供必要的保障。
• 生物制藥：藥品的生產(chǎn)過程中往往涉及多種化學(xué)反應(yīng)和生物合成，任何外來物質(zhì)都可能導(dǎo)致產(chǎn)品變質(zhì)或失效，需在無菌環(huán)境下生產(chǎn)疫苗、抗體藥物等，防止污染，確保藥品安全有效。
• 光電顯示：如 LCD、OLED 屏幕的制造，任何微塵都會影響顯示效果和產(chǎn)品壽命，因此需要無塵凈化車間來保證產(chǎn)品質(zhì)量。
• 精密儀器制造：如高端光學(xué)鏡頭、航天航空器件等對潔凈度的要求極高，在無塵凈化車間中生產(chǎn)可以減少塵埃等對產(chǎn)品精度和性能的影響。

施工要點

• 地面處理：一般先做自流平地面處理，再鋪設(shè) 2mm 厚 PVC 地板等，施工中要注意地面的平整度和防靜電性能。
• 門窗安裝：門窗安裝與建筑、凈化空調(diào)、各種管線、照明燈具的結(jié)合部位縫隙要密封處理，門窗與內(nèi)墻面要平直，結(jié)構(gòu)要充分考慮對空氣和水汽的密封。
• 配件與固定件安裝：所有的配件、隔墻、吊頂?shù)墓潭ê偷鯍旒荒芘c主體結(jié)構(gòu)相連，不能與設(shè)備和管線支架交叉混用，防止因微震引起裝飾材料松動和灰塵脫落。
• 施工環(huán)境控制：施工中應(yīng)控制施工作業(yè)中的發(fā)塵量，特別是吊頂和夾墻內(nèi)部等隱蔽空間，必須隨時清掃。在已安裝高效過濾器的房間，不能進(jìn)行有粉塵的裝修作業(yè)。